應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路、G8及以上高世代顯示面板和柔性面板。不含氟離子有害物質(zhì),不含三氯化鐵等強(qiáng)氧化劑。Taper角度45-60°,CDloss(單邊)<1μm,無(wú)倒切,無(wú)側(cè)刻,無(wú)殘留。蝕刻速度快,側(cè)蝕小,溶液使用壽命長(zhǎng)
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